2023年9月15日，廣州奧松電子股份有限公司完成的“新一代MEMS電容式溫濕度智能傳感器的研發及產業化”和“基于MEMS熱膜式直通微小流量傳感器的研發及產業化”兩項科技成果順利通過專家評價。科技成果評價會由廣州生產力促進中心有限公司組織召開，由來自華南理工大學、中山大學、廣東工業大學、暨南大學、中科院廣州電子技術有限公司、季華實驗室、廣東中科新微安全科技有限公司等單位7位專家組成評價專家組。

評價專家組聽取了項目匯報，審閱了評價材料，經質詢和討論一致認為，兩項成果整體技術水平達到國際先進。

兩項科技成果于2023年10月30日獲廣州市2023年第十四期科技成果登記公示，現同步進行完成單位公示，公示內容如下：

 “新一代MEMS電容式溫濕度智能傳感器的研發及產業化” 

項目研發了高可靠性、高精度的新一代MEMS電容式溫濕度智能傳感器，結合奧松電子MEMS智能傳感器全產業鏈模式，實現了傳感器產業化，打破國外壟斷局面，實現國產替代。 

項目成果具有明顯創新性： 

（1）引入光敏基團和多官能團胺交聯型聚酰胺酸薄膜，降低了溫濕度傳感器在惡劣環境（高溫高濕85℃；85%RH）的濕度偏差； 

（2）采用三(4-氨苯基)胺多官能團胺類前驅體，提高了溫濕度傳感器的長期穩定性，實現年漂移<1%RH；

（3）采用磁控濺射金屬鍍膜工藝，研制三段式加熱自恢復納米金屬加熱層，實現了傳感器快速脫濕，從而降低濕滯。

項目已獲發明專利5件、實用新型專利4件、外觀設計專利6件、軟件著作權2項，擁有自主知識產權。項目成果均已經第三方質量檢測機構檢測，所檢項目符合相關技術要求，產品已獲CE、RoHS、REACH等認證，取得了良好的經濟和社會效益。評價專家組認為，成果整體技術水平達到國際先進。 

 “基于MEMS熱膜式直通微小流量傳感器的研發及產業化” 

項目研發了高精度、低壓損、高靈敏度、正負流向的MEMS熱膜式直通微小流量傳感器，結合奧松電子MEMS智能傳感器全產業鏈模式，實現了傳感器產業化，打破國外壟斷局面，實現國產替代。

項目成果具有明顯創新性：

 （1）采用四元件集成復合硅杯薄膜結構，實現了正負流向感知；

 （2）引入DRIE深硅刻蝕工藝，對硅杯進行垂直深刻，刻蝕角度提升至89.5°，縮小了芯片尺寸；

 （3）通過算法優化，提升傳感器在壓力波動狀態下的穩定性以及響應速度。 項目已獲發明專利3件、實用新型專利5件、外觀設計專利4件、軟件著作權1項，擁有自主知識產權。項目成果均已經第三方質量檢測機構檢測，所檢項目符合相關技術要求，產品已獲CE、RoHS、REACH等認證，取得了良好的經濟和社會效益。評價專家組認為，成果整體技術水平達到國際先進。